目前國內(nèi)使用的臭氧發(fā)生器件主要有陶瓷放電、尖端放電、管式放電三種裝置。臭氧片主要原理是在高頻高電壓強的電場作用下，氣體沿著電介質(zhì)表面發(fā)生脈沖電暈放電，產(chǎn)生等離子體，使氧分子在瞬間分解為單原子氧，原子氧又迅速與氧結(jié)合為臭氧。
      這里主要要講的是陶瓷臭氧片的工作原理，陶瓷片式放電又叫陶瓷臭氧發(fā)生片，也叫沿面放電陶瓷片，其放電方式是利用陶瓷絕緣介質(zhì)表面上的沿面放電，產(chǎn)生低溫等離子體來實現(xiàn)臭氧發(fā)生功能的器件。只有當兩極間的電壓大于某臨界值，并以高頻正弦交流電作用時，在放電電極附近有限的表面上進行電暈放電。此時的陶瓷絕緣介質(zhì)表面相當于一個極板，在高頻高壓正弦交流電的作用下，放電電極的附近表面處不斷俘獲和發(fā)射電荷；當電壓達到正半周臨界起暈電壓Uth時開始放電，正電荷聚向放電極附近的介質(zhì)表面，即電子被加速到很高能量從介質(zhì)表面?zhèn)鬏數(shù)椒烹婋姌O。又隨著電壓升高，放電繼續(xù)，更多的正電荷被束縛在介質(zhì)表面，這一過程一直持續(xù)到峰值電壓Up，放電過程停止，介質(zhì)表面正電荷并不消失；當電壓開始下降時，介質(zhì)表面正電荷仍不動，并沒有發(fā)生放電，一直持續(xù)降到負半周臨界起暈電壓-Uth，這時放電開始，介質(zhì)表面的正電荷離開，負電荷積聚于表面，即電子被加速到很高能量從放電電極傳輸?shù)浇橘|(zhì)表面，這一過程持續(xù)到負半周峰值電壓-Up，放電過程停止；當電壓再次升高到正半周臨界起暈電壓Uth時，正電暈放電又開始，整個放電過程就是這樣交替進行的，因此，沿面放電過程就是介質(zhì)表面的靜電平衡狀態(tài)反復建立和破壞，表面氣體的反復擊穿而介質(zhì)表面上反復充放異性電荷的過程。
      沿面放電陶瓷臭氧片的結(jié)構(gòu)特點為：電極分別布置在陶瓷基片的兩邊，正面為放電電極，背面為感應電極，并接地。將不是很高的電壓作用在兩極上時，由于陶瓷基片的絕緣效果比較好，所以很難出現(xiàn)放電通道。